一种双环境力下的硅基MEMS执行器设计与分析

编号 zgly0000869998

文献类型 期刊论文

文献题名 一种双环境力下的硅基MEMS执行器设计与分析

作者 刘双杰  郝永平  王兴 

作者单位 沈阳理工大学装备工程学院  沈阳理工大学机械工程学院 

母体文献 纳米技术与精密工程 

年卷期 2014(6)

页码 445-448

年份 2014 

关键词 引信  MEMS执行器  环境力  动力学分析 

文摘内容 基于发射过程引信保险机构的工作原理,设计了一种应用于双环境力下的MEMS执行器,建立了执行器中可动部件的动力学模型,研究了影响执行器工作的因素.应用有限元法在ANSYS/LS-DYNA软件下对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图.计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,并且具有结构紧凑、质量轻的特点。