基于双环境力的MEMS执行器的设计与研究

编号 zgly0000845355

文献类型 期刊论文

文献题名 基于双环境力的MEMS执行器的设计与研究

作者 王兴  刘凤丽  郝永平 

作者单位 沈阳理工大学 

母体文献 工具技术 

年卷期 2014(1)

页码 24-27

年份 2014 

关键词 双环境力  MEMS执行器  引信  弹性系数  动力学仿真 

文摘内容 设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器。根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析,应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁X、Y方向弹性系数的计算公式。在ANSYS/LS-DYNA中对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图。计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,具有结构紧凑、抗过载能力强的特点。