变温和变压吸附在多晶硅氢气净化中的应用

编号 zgly0000733543

文献类型 期刊论文

文献题名 变温和变压吸附在多晶硅氢气净化中的应用

学科分类 220.1070;森林植物学

作者 王航舟  陈自力 

作者单位 陕西天宏硅材料有限责任公司 

母体文献 大科技: 科技天地 

年卷期 2011(7)

页码 54-55

年份 2011 

分类号 TQ116.2 

关键词 变压吸附  变温吸附  活性炭  氢气  净化 

文摘内容 本文介绍了变压吸附和变温吸附在多晶硅生产中净化氢气的应用、净化原理、工艺流程、相关的设备和控制系统, 分析了在实际应用过程中利用变压吸附和变温吸附技术通过活性炭吸附器净化回收氢气的效果。结果表明: 变压变温吸附在多晶硅生产的氢气净化效果良好, 能满足多晶硅生产的需要。