内嵌弹性区和结合力模型在薄膜/基底界面断裂中的应用

编号 zgly0001257225

文献类型 期刊论文

文献题名 内嵌弹性区和结合力模型在薄膜/基底界面断裂中的应用

作者 李然  余寿文 

作者单位 清华大学工程力学系  清华大学工程力学系 北京100084  北京100084 

母体文献 复合材料学报 

年卷期 2002年03期

年份 2002 

分类号 TB301 

关键词 内嵌弹性区  结合力模型  薄膜/基底结构  界面断裂 

文摘内容 薄膜 /基底结构是微电子学和材料科学中广泛应用的典型结构。由于加工工艺中材料力学、热学性能失配等原因导致的薄膜中出现的残余应力 ,是界面裂纹的萌生和扩展的重要原因。采用三参数 (Γ0 ,σ/ σy,t)的修正的断裂过程区结合力模型 ,讨论了在塑性氛围下裂尖解理断裂的过程 ,裂尖应力分布 ,裂尖形貌和表征裂纹尖端断裂过程区特征参数对断裂过程的影响 ,并应用到均质金属薄膜 /陶瓷基底结构中残余应力导致界面裂纹起裂和扩展的全过程分析中