SEM环境下3PRR并联平台奇异区域规避与逃逸控制策略

编号 zgly0000943549

文献类型 期刊论文

文献题名 SEM环境下3PRR并联平台奇异区域规避与逃逸控制策略

作者 莫嘉嗣  张宪民  邱志成  魏骏杨 

作者单位 华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室 

母体文献 机械工程学报 

年卷期 2015(23)

页码 1-11

年份 2015 

关键词 微纳操作  3PRR  SEM  并联平台  奇异  规避  逃逸  控制策略 

文摘内容 微纳操作系统是精密操作、精密加工领域重要组成部分。微纳操作系统的载物平台负责放置样品和大行程搬运样品,需要大行程、高精度的定位。宏微结合的方法能弥补精密定位平台行程不足的缺点,而并联机构能实现高精度定位,因此采用3PRR(3自由度,每条支链包括一个移动副(P)驱动和两个转动副(R))并联平台作为扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)环境下的宏微结合精密平台中的宏动部分。为了实现大行程、高精度定位,需要分析机构工作空间与奇异性分布。