编号
zgly0000991696
文献类型
期刊论文
文献题名
环境温度对W_2N/Cu薄膜摩擦磨损性能的影响
作者单位
天津大学材料科学与工程学院
江苏科技大学材料科学与工程学院
母体文献
真空科学与技术学报
年卷期
2015(7)
页码
825-830
年份
2015
关键词
W2N/Cu
环境温度
摩擦
氧化相
文摘内容
利用射频磁控溅射仪制备W2N/Cu薄膜,采用高温摩擦磨损试验机、X射线衍射、扫描电镜和Bruker三维形貌仪对摩擦磨损性能及磨痕的相结构、形貌进行表征,采用绝热法定量计算了薄膜磨痕处所含物相的相对含量。实验表明,W2N/Cu薄膜的摩擦系数受环境温度的影响不明显;而磨损率和磨痕处产生的氧化物相对含量均随环境温度增加逐渐变大。分析表明,W2N/Cu薄膜的摩擦系数主要与磨痕中具有减摩作用的氧化相的量有关;而其磨损率主要与磨痕中具有层状结构的氧化相的量有关。