DLC;TiN薄膜的环境摩擦学特性研究

编号 zgly0000891160

文献类型 期刊论文

文献题名 DLC;TiN薄膜的环境摩擦学特性研究

作者 祝闻  聂朝胤  冉春华  金义栋  赵洋 

作者单位 西南大学材料科学与工程学院 

母体文献 西南大学学报;自然科学版 

年卷期 2014(1)

页码 84-90

年份 2014 

关键词 非平衡磁控溅射  电弧离子镀  DLC薄膜  TiN薄膜  摩擦学特性 

文摘内容 采用非平衡磁控溅射及电弧离子镀技术在304奥氏体不锈钢表面沉积了类金刚石(DLC)及TiN薄膜.用纳米压痕仪、表面粗糙度仪、扫描电镜等检测了薄膜的显微硬度、表面粗糙度及表面形貌.并用球—盘式摩擦磨损试验仪评价了不同介质(干摩擦、水润滑、油润滑)条件下薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:在干摩擦及水润滑条件下,TiN,DLC两种薄膜均明显改善了基体的耐磨性和润滑性,DLC薄膜性能更佳.但相对于干摩擦,在水润滑条件下,DLC薄膜的摩擦系数反而有所升高,这主要源于H2O与O2在摩擦过程中参与反应,降低了薄膜的力学性能和化学惰性从而增加了粘着效应。