Si_3N_4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究

编号 zgly0000901308

文献类型 期刊论文

文献题名 Si_3N_4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究

作者 曾群锋  董光能  于飞  刘官 

作者单位 西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室  北京汽车研究总院有限公司 

母体文献 真空科学与技术学报 

年卷期 2014(11)

页码 1184-1191

年份 2014 

关键词 类金刚石膜  摩擦磨损性能  硬度  真空工况 

文摘内容 采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜。采用球盘式摩擦磨损试验机考察了DLC膜在大气和真空环境干摩擦条件下的摩擦学性能,并比较分析了GCr15钢球和Si3N4球不同摩擦配副对DLC膜的摩擦学性能。采用光学显微镜及扫描电镜观察了摩擦副的磨损表面形貌。研究结果表明:由于转移膜的形成Si3N4球/DLC膜摩擦副在大气下具有良好的摩擦学性能;而在真空条件下摩擦副易发生明显的粘着磨损,使摩擦系数、磨斑增加,磨损表面上存在着较多的片状磨屑和微米级颗粒。