编号 zgly0000672729
文献类型 期刊论文
文献题名 22nm节点制程=断手取玉?
母体文献 电子工业专用设备
年卷期 2011,40(2)
页码 51-51
年份 2011
分类号 TS78
关键词 制程 节点 沉积技术 电子应用 提供商 半导体
文摘内容 Alchimer公司是用于三维硅通孔(TSV)、半导体互连和其他电子应用的纳米沉积技术提供商。从某些方面上看, 22nm节点制程也许并不算是什么技术上的突破, 相反, 在人们的眼中这可能是一种吃力而不讨好的活儿。