化学气相沉积低温各向同性热解炭微观结构及沉积机制

编号 zgly0001530294

文献类型 期刊论文

文献题名 化学气相沉积低温各向同性热解炭微观结构及沉积机制

作者 张建辉  郑艳真 

作者单位 杭州电子科技大学机械工程学院 

母体文献 复合材料学报 

年卷期 2016年08期

年份 2016 

分类号 TQ127.11 

关键词 化学气相沉积  流化床  低温各向同性热解炭  沉积条件  微观结构  沉积机制 

文摘内容 为了研究低温各向同性热解炭(LTIC)的微观结构及沉积机制,采用不同体积分数的丙烷为碳源,在不同的沉积温度下进行稳态流化床化学气相沉积实验制备LTIC,借助SEM和TEM对不同沉积条件下制备的LTIC微观结构进行表征和分析。结果表明:不同沉积条件下制备的LTIC由类球形颗粒状和片层状炭结构组成,沉积温度升高,降低了热解炭在气相中的形核势垒,LTIC中类球形颗粒数量增多,尺寸变小,且类球形颗粒内包围炭黑颗粒的炭层织构逐渐降低;丙烷体积分数升高,热解炭沉积过程逐渐由以表面生长机制为主转变为以气相形核机制为主,所制备的LTIC中类球形颗粒形貌越来越明显,而片层状炭结构逐渐减少甚至完全消失。