真空环境下光学薄膜的本征损伤机理研究

编号 zgly0000943601

文献类型 期刊论文

文献题名 真空环境下光学薄膜的本征损伤机理研究

作者 凌秀兰  王高  刘晓凤 

作者单位 中北大学电子测试技术重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室  中国科学院上海光学精密机械研究所 

母体文献 激光与光电子学进展 

年卷期 2015(5)

页码 227-232

年份 2015 

关键词 薄膜  光学薄膜  真空环境  热力损伤  损伤阈值 

文摘内容 基于光学薄膜与环境因素的耦合过程及激光与光学薄膜相互作用的热力损伤过程,分析了真空环境下光学薄膜激光损伤的本征机制。研究显示,真空环境下水的解析引起了电子束沉积的多孔薄膜孔隙率的释放,使得电子束沉积的多孔薄膜折射率及热导率降低,最终导致了薄膜热力损伤过程的加剧,导致了电子束沉积的多孔薄膜在真空环境下损伤阈值极大地降低。