Portable nano probe for micro/nano mechanical scratching and measuring

编号 zgly0000677455

文献类型 期刊论文

文献题名 Portable nano probe for micro/nano mechanical scratching and measuring

作者 Woo-Park  JEONG  Chang-Choi  SOO  Cho  HYUN  Woo-Lee  DEUG 

作者单位 Department  of  Mechanical  Design  Engineering  Department  of  Nano  Fusion  Technology 

母体文献 中国有色金属学报: 英文版 

年卷期 2011,21(A01)

页码 205-209

年份 2011 

分类号 TQ440.5 TH-39 

关键词 测量探头  纳米机械  纳米探针  电容位移传感器  便携式  表面形貌测量  接触式测头  刮擦