基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法

编号 zgly0000931232

文献类型 期刊论文

文献题名 基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法

作者 姚姚  胡春光  徐臻圆  张雷  傅星  胡小唐 

作者单位 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 

母体文献 光谱学与光谱分析 

年卷期 2015(5)

页码 1320-1324

年份 2015 

关键词 表面光学表征  差分反射光谱技术  在线测量  有机薄膜生长 

文摘内容 有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对薄膜器件的高质量制备具有重要意义。为实现真空环境有机薄膜制备过程的实时在线监测,提出了一种基于差分反射光谱术的高精度测量方法。采用离轴抛物面反射镜、光学平板和光纤等基本光学元器件构建紧凑型光路系统,运用差分算法分析光谱信号,具有较高的测量性能。测试了不同实验环境下光谱信号的波动,得出在控温条件下,系统的长时间测量重复性优于2‰。还研究了并五苯分子通过分子束外延制膜法在Au基底成膜初始阶段的生长过程。