乙醇胺碱性蚀铜液的研究

编号 zgly0000601046

文献类型 期刊论文

文献题名 乙醇胺碱性蚀铜液的研究

作者 李德良  王丹  罗洁  龙丽娟  彭芸 

作者单位 中南林业科技大学环境工程研究所  长沙意贯环保高新技术有限公司 

母体文献 表面技术 

年卷期 2008,37(1)

页码 28-31

年份 2008 

分类号 TG178 

关键词 蚀铜液  乙醇胺  蚀刻速率  侧蚀因子 

文摘内容 为了开发一种新型碱性蚀刻液以代替传统的氨类蚀刻液，该蚀刻液的组成特点是以铜一乙醇胺络合物、氯离子和碱性pH缓冲液作为主要成分。分别采用静态吊片蚀刻法和动态喷淋蚀刻研究方法探索了其最佳配方和操作条件，结果表明在铜离子浓度为85～95g／L，氯离子浓度3．5～4．5mol/L，乙醇胺浓度4．5～5mol/L，添加剂浓度0．5～1．5g／L，pH为8．5～9．0，操作温度为55～60℃时，其蚀刻状态最佳，相应的静态和动态蚀刻速率分别达6μm/min和20μm/min，与氨类蚀刻液的对应指标相当，且防侧蚀指标更高。结论是该碱性蚀刻液在生产配制、使用和再生循环过程中无废气排放，技术指标优越，具有良好的工业应用前景。