直流磁控溅射镀膜在不锈钢刀片涂层技术中的应用

编号 zgly0000815851

文献类型 期刊论文

文献题名 直流磁控溅射镀膜在不锈钢刀片涂层技术中的应用

作者 龙慧荣 

作者单位 波开利控股集团有限公司 

母体文献 科技创新与应用 

年卷期 2013(32)

页码 40-40

年份 2013 

分类号 TS761.2 

关键词 磁控溅射  镀膜刀片  涂层技术  应用 

文摘内容 磁控溅射属于一种真空镀膜技术, 在微电子、光学薄膜、材料表面处理等众多领域广泛应用。随着磁控溅射镀膜技术的不断发展, 其应用范围不断扩大。文章中, 主要在探讨磁控溅射镀膜在刀片涂层技术中应用的基础上, 对磁控溅射真空镀膜技术的应用机理、靶的结构、靶的选材与提高镀膜质量的方法进行了研究, 在文章最后, 对磁控溅射镀膜刀片的应用与发展前景进行了探讨。