Enhancing the thermal conductivity of polymer-assisted deposited Al2O3 film by nitrogen doping

编号 zgly0000809008

文献类型 期刊论文

文献题名 Enhancing the thermal conductivity of polymer-assisted deposited Al2O3 film by nitrogen doping

作者 黄江  张胤  潘泰松  曾波  胡国华  林媛 

作者单位 State  Key  Laboratory  of  Electronic  Thin  Films  and  Integrated  Devices 

母体文献 中国物理B: 英文版 

年卷期 2012(12)

页码 372-376

年份 2012 

分类号 TQ351.0 TB43 

关键词 Al2O3薄膜  热传导性  氮掺杂  聚合物  X-射线光电子能谱  Si(100)  淀积  X-射线衍射