热氧化复合薄膜制备针叶状纳米ZnO

编号 zgly0000436406

文献类型 期刊论文

文献题名 热氧化复合薄膜制备针叶状纳米ZnO

作者 王书运 

作者单位 山东师范大学物理与电子科学学院 

母体文献 真空科学与技术学报 

年卷期 2006,26(1)

页码 20-22

年份 2006 

分类号 TN304.23 

关键词 射频磁控复合溅射  退火  复合薄膜  针叶状ZnO 

文摘内容 采用射频磁控复合溅射技术,在Si(111)衬底上制备Zn/SiO2复合薄膜,本文讨论了不同退火时间下形成的晶状氧化锌,并对其进行了X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及选区电子衍射(SAED)分析和表征。可以看出,由于不同材料的结晶温度不同,在空气中700℃退火热处理,使金属锌从复合薄膜中析出并氧化,形成针叶状氧化锌结晶体,ZnO晶体为六方纤锌矿结构。