State of the art for dry tree semi technologies

编号 zgly0000826188

文献类型 期刊论文

文献题名 State of the art for dry tree semi technologies

作者 Yu  Hao  Chen  Yongjun  Cui  Yujun 

作者单位 DMAR  Engineering  Inc. 

母体文献 中国工程科学: 英文版 

年卷期 2013(4)

页码 92-96

年份 2013 

分类号 TE53 TS642 

关键词 技术  生产平台  张紧系统  环境可行性  运营商  长冲程  整合  岸边