Sm掺杂核-壳结构介孔SiO2@CeO2复合颗粒的制备和抛光性能

编号 zgly0001706275

文献类型 期刊论文

文献题名 Sm掺杂核-壳结构介孔SiO2@CeO2复合颗粒的制备和抛光性能

作者 陈爱莲  王婉莹  马翔宇  蔡文杰  陈杨 

作者单位 常州大学机械工程学院  常州大学江苏省绿色过程装备重点实验室  常州大学材料科学与工程学院 

母体文献 复合材料学报 

年卷期 2020年04期

年份 2020 

分类号 TB33 

关键词 CeO2  掺杂  复合磨粒  核-壳结构  抛光 

文摘内容 在低模量介孔SiO2（Mesoporous silica, mSiO2）微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒。借助XRD、 SEM、 HRTEM、 STEM-EDX Mapping、 Raman光谱和N2吸-脱附等技术对产物进行结构表征,利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明:掺杂处理可使mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒的抛光效率提高近36%,达到84 nm/min,同时获得具有原子量级精度的加工表面,抛光后SiO2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。