编号 zgly0001391949
文献类型 期刊论文
文献题名 工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响
作者单位 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
母体文献 复合材料学报
年卷期 2010年05期
年份 2010
分类号 TG174.4
关键词 化学气相沉积 碳化锆 涂层 工艺参数 形貌 作用机制
文摘内容 利用ZrCl4-Ar-CH4-H2体系,采用化学气相沉积法(CVD)制备了ZrC涂层。研究了不同基底、沉积温度、先驱体中CH4与ZrCl4浓度比(C/Zr)对涂层形貌、物相和组分的影响规律和作用机制。结果表明,不同基底对该体系沉积的ZrC涂层形貌没有显著影响。沉积温度对ZrC涂层形貌影响较大,当温度从1100℃增加到1350℃时,涂层形貌由片状转变到荔枝状,且涂层中的C含量随温度的升高而增加。先驱体中的C/Zr比对涂层形貌和组分也有重要影响,当C/Zr比从8.5减小到3.5时,涂层由疏松多孔形貌经菜花状向玻璃态形貌演变,且涂层中的C含量随C/Zr比的减小而减少。