Quanta200F场发射环境扫描电镜故障排除二例

编号 zgly0000842357

文献类型 期刊论文

文献题名 Quanta200F场发射环境扫描电镜故障排除二例

作者 夏晓飞  张辰  张雪松  许波 

作者单位 北京自然博物馆 

母体文献 分析仪器 

年卷期 2014(3)

页码 119-120

年份 2014 

关键词 扫描电镜  维护  修理 

文摘内容 本文主要介绍FEI公司的Qunta200F场发射扫描电子显微镜故障检查和排除方法,以及电镜日常维护的一些体会,以供参考。