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编号 zgly0000673633
文献类型 期刊论文
文献题名 机会: 确定下一代工厂
作者 邓志杰(摘译)
母体文献 现代材料动态
年卷期 2010(2)
页码 17-18
年份 2010
分类号 TB493 TS642
关键词 工厂 设备供应商 生产线设备 成本效益 半导体 生产率
文摘内容 目前经济不景气对半导体设备供应商的收益造成了严重影响, 这自然明显减少了他们用于研发的经费也降低了对过渡到450mm的兴趣。由于450mm的潜在成本效益下降, 这就刺激他们提高了300mm生产线设备的生产率。
周冠武
管宁
琴言
陈玲
修木
周密
刘玉春
胡广斌
林石
康启来
吴朝阳
夏元洲
刘振华
姜征
张立群
伍学区
娄茂达
三青
康军
孙华