复合钝化膜刻蚀工艺的探讨

编号 zgly0001274910

文献类型 期刊论文

文献题名 复合钝化膜刻蚀工艺的探讨

作者 唐晓颖  路连 

作者单位 淮阴工学院  淮阴工学院 江苏淮安223001  江苏淮安223001 

母体文献 林业机械与木工设备 

年卷期 2004年11期

年份 2004 

分类号 TB43 

关键词 钝化膜  等离子  刻蚀工艺  温度控制 

文摘内容 针对复合钝化膜刻蚀均匀性差的问题,提出改进光刻工艺,通过温度控制提高复合钝化膜刻蚀均匀性的方法。