半导体设备微环境控制方法和前景

编号 zgly0000943507

文献类型 期刊论文

文献题名 半导体设备微环境控制方法和前景

作者 毕昕  沈锦华 

作者单位 上海医疗器械高等专科学校医学影像设备系  上海微电子装备有限公司 

母体文献 机电一体化 

年卷期 2015(5)

页码 11-15+31

年份 2015 

关键词 半导体设备  微环境控制  空气洁净度  温度控制  气浮平台 

文摘内容 超大规模、超高集成度集成电路制造过程中环境因素至关重要,特别是随着特征尺寸的不断减小,环境指标越来越苛刻。分析了半导体设备内部微环境控制在产品性能以及生产成本等方面的重要性,介绍了目前我国自主研发的精密半导体设备微环境控制的方法。从微环境定义、洁净度控制以及温度控制等几个方面,概述了半导体设备微环境控制过程中采用的原理和方法、控制的指标、影响因素以及存在的问题等,进而对我国未来半导体设备微环境控制的技术发展需求、前景和相关产业的机遇进行了总结和展望。