微纳米加工净化间的环境维护与管理

编号 zgly0000974751

文献类型 期刊论文

文献题名 微纳米加工净化间的环境维护与管理

作者 郭党委  冯娟娟 

作者单位 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室 

母体文献 实验科学与技术 

年卷期 2015(1)

页码 176-177

年份 2015 

关键词 高校  净化间  维护  管理 

文摘内容 随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面,讨论和阐述了如何使其安全良好运行,进而确保制备样品的质量,为高校科研活动提供保障。