低温化学气相沉积两种DLC膜的摩擦性能研究

编号 zgly0000780543

文献类型 期刊论文

文献题名 低温化学气相沉积两种DLC膜的摩擦性能研究

作者 陈文刚  葛世荣  张涌海 

作者单位 中国矿业大学机电工程学院  西南林业大学交通机械与土木工程学院 

母体文献 功能材料 

年卷期 2012,43(6)

页码 688-691

年份 2012 

分类号 TH117.1 

关键词 单晶硅  DLC膜  Si-DLC膜  摩擦磨损 

文摘内容 低温条件下在单晶硅表面沉积DLC膜和Si-DLC膜层, 采用UMT-2微摩擦磨损实验机研究了两种膜层的摩擦磨损特性, 借助拉曼光谱、X射线衍射仪及立体三维形貌仪分析了两种膜层的表面形貌和组成。使用扫描电子显微镜检测了两种膜层磨损后的表面形貌。结果表明两种膜层表面都非常平滑, 属于纳米硬膜; 两种膜层都具有良好的减摩托磨作用, 其中DLC膜层的减磨性能好于Si-DLC膜, 而Si-DLC膜的抗磨性能优于DLC膜。分析认为这是由于具有Si过渡层的DLC膜与硅基体的结合更为牢固造成的, 但其同时促使DLC膜的减摩性能降低。