用卢瑟福背散射/沟道技术研究ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO异质结的弹性应变

编号 zgly0000455637

文献类型 期刊论文

文献题名 用卢瑟福背散射/沟道技术研究ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO异质结的弹性应变

作者 王坤  姚淑德  侯利娜  丁志博  袁洪涛  杜小龙  薛其坤 

作者单位 北京大学物理学院  中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室 

母体文献 物理学报 

年卷期 2006,55(6)

页码 2892-2896

年份 2006 

分类号 TN304.205  TS652 

关键词 异质结  卢瑟福背散射/沟道  弹性应变  ZnMgO 

文摘内容 利用卢瑟福背散射/沟道技术对射频等离子体辅助分子束外延法生长在蓝宝石衬底上的ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO异质结进行了组分分析, 并得到了异质结弹性应变随深度的变化, 应变由界面向表面逐渐释放, 并由负变正, 且在ZnO与Zn0.1O界面处轻微增大。负的应变是由于ZnO与衬底的晶格失配和热失配, 而逐渐变为正值是Zn0.9 Mg0.1与ZnO的晶格常数差异及弹性应变的逐渐释放所致。